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MSAA氣浮高直線度/高精度系列

主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。
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          主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。

    • 分辨率:可達1nm
    • 直線度/平面度:優于1μm
    • 高穩定性花崗石基臺
    • 重復定位精度:優于0.5μm